“我们需要探索新的光源激发机制和等离子体控制技术。”光源技术专家孙博士坚定地说道，他的眼神中透露出对技术突破的渴望，“目前的技术已经无法满足我们的需求，我们必须大胆创新，寻找新的突破点。就像在黑暗中摸索前行的旅人，需要找到一盏更亮的灯来照亮道路。”
林宇与孙博士一同深入研究了国内外相关领域的最新研究成果，查阅了大量的学术文献，与国际上的专家学者进行了广泛而深入的交流与探讨。在这个过程中，他们了解到一种基于激光驱动的高功率极紫外光源技术在国外已经取得了一定的进展，但相关技术被严格保密，如同被锁在一个坚固的保险柜中，难以获取。
“我们不能依赖国外的技术，必须依靠自己的力量研发出具有自主知识产权的高功率稳定光源。”林宇眼神坚定地说道，他的拳头不自觉地握紧，仿佛在给自己加油打气，“虽然前方的道路充满荆棘，但我们有信心开辟出一条属于自己的道路。”
经过无数个日夜的艰苦努力和反复试验，科研团队终于在光源技术方面取得了一项重要的突破。他们成功地开发出了一种新型的激光等离子体极紫外光源，其功率相比以往提高了数倍，稳定性也得到了显着的提升。这就像是在黑暗中点亮了一盏明灯，为整个极紫外光刻项目带来了新的希望。
“太棒了！我们终于成功了！”孙博士激动地欢呼起来，他的脸上洋溢着成功的喜悦，眼中闪烁着激动的泪花，“这是我们团队共同努力的结果，也是我国在极紫外光刻光源技术领域的一个重要里程碑。”
林宇也难掩心中的兴奋与激动，他与孙博士紧紧地拥抱在一起，感慨地说：“这只是我们迈向成功的关键一步，但还有很长的路要走。我们要继续努力，不断优化和完善这项技术，让它能够真正应用于芯片制造领域。”
随着光源技术的突破，科研团队在光学系统的整体性能优化方面也取得了一系列重要的进展。通过对光路设计的进一步优化和对光学元件的精细调整，极紫外光刻曝光光学系统的分辨率得到了大幅提升，已经能够达到国际先进水平的边缘。这就像是一把原本略显钝拙