“这是怎么回事？立即停止实验，检查所有设备和数据！”林宇迅速而果断地发出指令，眼神中透露出焦急与紧张。
经过一番仔细而深入的排查，科研团队发现是由于光源产生的高热量在短时间内无法有效散发出去，使得光学元件的温度急剧上升，进而引发了热变形。这就像是一台高速运转的发动机因为散热不良而出现故障，导致整个系统陷入瘫痪。
“我们必须设计一套高效的散热系统，确保光学元件在工作过程中能够始终保持稳定的温度。”李教授神情严肃地说道，他的额头布满了细密的汗珠，那是紧张与思考的痕迹，“这就如同给一个在高温环境下工作的运动员配备一套精良的降温设备，让他能够始终保持最佳的竞技状态。”
于是，热管理专家们紧急加入了研发团队，他们如同救火队员一般迅速投入到工作中。他们运用先进的热模拟软件，对光学系统的热分布进行了详细而精确的分析，就像绘制一幅精密的地图，找出了热量集中的关键区域和薄弱环节。然后，根据分析结果，设计出了一套基于微通道冷却技术的散热方案。这套方案就像是在光学元件内部构建了一个细密而高效的“血管网络”，通过冷却液在微通道中的循环流动，将热量迅速带走，从而有效地维持了光学元件的温度稳定。
“这个散热方案在理论上应该能够满足需求，但在实际制造和安装过程中，我们还需要克服许多技术难题。”热管理专家赵工看着设计图纸，微微皱起眉头说道，“比如微通道的加工精度和密封性要求极高，任何微小的瑕疵都可能导致冷却液泄漏或者散热效果不佳，就像一个精密的手表，哪怕一个零件出现问题，都可能影响整个手表的运行。我们需要与精密制造专家紧密合作，确保每一个环节都万无一失。”
在解决散热问题的同时，科研团队在提高光源功率和稳定性方面也遭遇了巨大的挑战。现有的极紫外光源技术在功率输出上存在明显的瓶颈，就像一个供水不足的水龙头，无法提供足够的能量来满足光刻的需求。而且，光源的稳定性较差，其输出的极紫外光强